案例背景
某半导体设备厂商的晶圆传输机械手夹具需要在 200°C 真空腔体环境下工作。原采用 SUS316L 不锈钢螺丝，但遇到三个问题：金属螺丝在高真空下持续放气（hydrocarbon 污染源），颗粒释放（particle contamination）超出晶圆厂 0.3µm 洁净要求，且热膨胀系数与陶瓷夹具差异大导致松动。
解决方案
紧王 FASTKING 提供 PEEK（聚醚醚酮） 螺丝替代方案。PEEK 是目前综合性能最高的高分子材料之一：连续使用温度 260°C（短期 300°C），在 10⁻⁶ Pa 真空下释气率仅为金属的 1/100~1/1000，天然粒料纯度满足 SEMI E12 标准。
产品规格
- 材料：PEEK 450G（Victrex 同级），本色米黄色
- 规格：M3×6 / M4×8 / M5×10 内六角圆柱头
- 性能：拉伸强度 95MPa，连续耐温 260°C，CTE 23×10⁻⁶/°C
- 洁净度：颗粒释放 < 0.2µm，释气率 TML < 0.5%、CVCM < 0.05%（NASA E595）
应用效果
8 个月累计供货 12 万颗 PEEK 螺丝到该客户：
- 真空腔体 particle counter 从 12/m³ 降至 1/m³，洁净度提升一个量级；
- 客户良率（yield）从 96.5% 提升至 98.2%；
- PEEK 与陶瓷夹具 CTE 接近，温度循环无松动；
- 该客户 PVD/CVD/ETCH 三大设备平台均切换至 PEEK 紧固件方案。
如需半导体级 PEEK/PI/PPS 紧固件样品或洁净度检测报告，欢迎联系 FASTKING 工程师。